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据北方华创（002371）官微，近日，北方华创正式发布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura LX，该机台主要覆盖逻辑领域多个技术节点中以AIO(双大马士革刻蚀工艺)、Contact(接触孔)为代表的关键介质刻蚀制程，并可扩展到存储领域的CMOS(互补金属氧化物半导体)相关制程，适用于Low-K(低介电常数)介质及常规介质材料的刻蚀工艺。
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