今天最新消息北方华创发布多款12英寸立式炉原子层沉积 ALD设备

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　　据北方华创（002371）官微，北方华研发推出3款12英寸立式炉原子层沉积设备，进入客户端验证，且实现大规模量产。北方华创经过多年的技术创新及产业化验证，已实现立式氧化/退火炉，立式LPCVD和立式ALD系列设备全面布局，并预计在今年下半年推出立式炉原子层沉积设备的其他DEMAX系列产品。

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