大家好，目前关于到日本宣布开发出新技术，可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本这一类的信息是很多小伙伴们都非常关心的，跟随编辑小法一起往下看看吧。
日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心，整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大幅简化，因此当前估计需要200亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半。该大学将与企业合作，力争实现这种设备的日本国产化。(界面)
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